沈阳科仪真空干泵正式在中芯世界（北京）批量运用

  —— 习在致中国科学院建院70周年贺信中作出的“两加速一尽力”重要指示要求

  由中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称沈阳科仪）承当施行的“十一五”国家科技严重专项“极大规划集成电路制作配备及成套工艺”——“干泵与系列真空阀门产品研讨开发与产业化”项目于2015年4月通过检验。

  该项目产品继本年6月通过中芯世界（深圳）8寸生产线测验并完成批量收购后，又别离通过了中芯世界（北京）12寸生产线寸生产线PVD工艺测验。11月25日，沈阳科仪如期交给中芯世界（北京）第一批线台收购订单，打破了国外产品在该范畴继续多年的强力独占，成功完成了国产化代替。产品通过产业化验证和运用，稳定性很高，服务和产品价格与国外同种类型的产品比较有着十分显着优势，不光能够为国产集成电路工艺设备供给中心隶属设备，也能够在进口工艺设备上进行替换运用。

  FAB工厂批量生产真空干泵的厂家。未来几年，国内规划建造的12寸晶圆制作厂到达10座以上，真空干泵的市场需求潜力巨大，需求量达5万台以上。沈阳科仪将继续尽力，为完成我国在该范畴的兴起奉献出自己的一份力气。