东北大学-中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

  中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 (以下简称中科院沈阳科仪) 创建于1958年，是一家集真空仪器装置研发、生产、销售、服务为一体的高科技企业。中科院沈阳科仪以高真空、超高真空、洁净真空技术为基础，主要研发生产各类薄膜材料制备设备、集成电路装备、大科学工程装备、干式真空泵及真空系统集成。先后获得国家科技进步奖十余项，中国科学院及省部级科技进步奖五十余项，国家级新产品三十余项，拥有专利80余项，是辽宁省、沈阳市的高新技术企业。

  东北大学真空与流体工程研究所与中科院沈阳科仪具有长期稳定的合作伙伴关系，先后合作承担了“十一五”至“十三五”国家科技重大专项、国家科学仪器研制重大专项、863课题及省市重大科学技术攻关项目等，创立了多场耦合运转态真空干泵设计理论方法，开发了多个具有自主知识产权的干式真空泵（机组），满足了清洁真空环境、中度真空环境和恶劣真空环境等全天候真空抽气要求，并满足抽除含有颗粒夹杂物、易液化气体、易燃易爆气体和腐蚀性气体等特殊环境的抽气要求，在典型的IC装备工艺具备比较好的应用，产品在中芯国际、北方华创、北京中科信等多家企业应用，得到了用户的肯定和好评。联合获得了教育部技术发明二等奖、辽宁省学术成果二等奖、沈阳市发明及科技进步奖等10余项，共同组建了“国家真空仪器装置工程技术研究中心”、“真空技术装备国家工程实验室”，发起成立了“辽宁省真空产业技术创新战略联盟”等。

  东北大学与中科院沈阳科仪于2000年开始合作联合培养博士研究生、硕士研究生。联合培养的研究生采取东北大学、中科院沈阳科仪双导师模式，在东北大学进行课程学习，在中科院沈阳科仪进行工程实践学习和论文课题研究，研究生直接与世界最先进的干式真空获得技术、超高/极高真空技术与工艺、IC装备真空设备工艺零距离接触，理论与实践相结合，旨在提高研究生科研能力、学位论文质量以及工程技术问题的分析与解决能力。

  1. 联合培养硕士研究生应为具有创新意识和团队精神的机械工程专业硕士研究生。

  二、联合培养硕士研究生除了享有东北大学研究生相关待遇外，在中科院沈阳科仪从事工程实践学习和学位论文课题研究期间，中科院沈阳科仪提供如下待遇：

  张振厚，男，1962年7月生，研究员，国务院政府津贴获得者。现任中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司资深副总经理、技术委员会主任，国家真空仪器装置工程技术研究中心副主任、真空技术装备国家工程实验室副主任、辽宁省真空技术重点实验室副主任，兼任中国真空学会常务理事，中国真空学会真空工程专业委员会主任、真空冶金专业委员会副主任，全国真空标准化技术委员会副主任委员。长期从事真空应用设备、真空获得设备及高档真空部件等产品的研制开发工作，曾主持或参与实施国家科技攻关项目、国家863课题、国家高技术产业化示范工程建设项目及省、市科技计划项目近30项，研制成功10余项高技术产品，填补了多项国内空白，现拥有32项国家专利，发表了30多篇学术论文，主持编写了多项国家/行业标准。

  王光玉，男，1973年10月生，研究员，现任中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司首席技术官，兼任真空干泵事业部部长，中国真空学会真空工程专委会／真空冶金专委会／真空计量专委会委员。主要是做真空获得设备、真空应用设备及高档真空部件的研制开发工作。近年来，承担国家科技重大专项、国家科学仪器重大专项、863课题、辽宁省重大专项等课题20余项，获得国家专利30余项，发表论文30余篇，主持起草3项行业标准，受邀在国际国内学术会议上作大会特邀报告10余次，研究成果涵盖真空设备技术与工艺、真空热处理及金属材料表面处理等多个领域，主持完成了真空涡旋干泵、爪式干泵和阀门等15项新产品的研发和产业化工作，填补多项国内空白。荣获辽宁省新产品一等奖、教育部技术发明二等奖、辽宁省“五一劳动奖章”和中国真空学会线余项。

  应用于极大规模集成电路高端装备的干式真空获得技术，真空干泵智能控制技术及装备；以IC装备可靠性和智能化为目标，研究关键设备状态、相关生产的全部过程和产品质量一体化智能在线监测、诊断、预测及控制管理系统。